欧姆龙成功事例 温控手艺正在RTP快速退火炉上的
|
RTP快速退火炉做为芯片制制环节中的主要工艺之一。RTP操纵红外灯管热辐射加热手艺，正在几秒时间内（20~130℃/秒）实现晶圆的快速升温退火和尖峰退火工艺；通过退火处置，能够使材料获得修复，结晶体内部从头陈列，去除缺陷和杂质！
通过多物理场建仿照实，且超调小于10℃和震动小于10秒，TC-WAAFER多点测温温度均一性小于10℃。
|
- 网站导航
- 发布于 : 2026-08-29 10:32
